x射線和β射線法為非接觸式無損測量，測量范圍小。x射線法可以測量極薄的涂層、雙層涂層和合金涂層。β射線法適用于原子序數大于3的涂層和鍍層的測量。電容法僅在測量薄導體的絕緣涂層厚度時使用。

　　Ux-720光導管

　　作用:產生X射線激發樣品，使被激發樣品中的各元素發出二次X射線。

　　使用壽命:使用壽命大于15000小時。

　　電壓:0 ~ 50千伏

　　功率:50 W

　　目標材料:鉬

　　Be窗厚度:400um

　　Ux-720儀器標配設備參數。

　　1.計算機

　　CPU:英特爾雙核內存:2G

　　硬盤:500G顯示器:19英寸

　　2.噴墨式打印機

　　彩色噴墨打印機

　　3、儀器附件及技術數據

　　50片測試膠片

　　五個保險管

　　保修卡。

　　批準證書

　　儀器操作手冊

　　輻射安全檢查報告

　　Ux-720高分辨率CCD

　　260萬像素的高清CCD攝像機可以有效地實時觀察測試區域的情況，并拍攝材料的照片，作為測試報告的一部分。