Ux-720高準平臺
在加載試驗平臺上,微調裝置在儀器的右側,通過旋轉按鈕來調整樣品的移動,移動范圍為X軸15 mm,Y軸15mm。結合260萬像素的高清CCD,對測試樣品進行定位,防止樣品放置后關閉樣品蓋造成的震動,使測試位置發生變化,測試不準確。
Ux-720高分辨率CCD
260萬像素的高清CCD攝像機可以有效地實時觀察測試區域的情況,并拍攝材料的照片,作為測試報告的一部分。
x射線和β射線法為非接觸式無損測量,測量范圍小。x射線法可以測量極薄的涂層、雙層涂層和合金涂層。β射線法適用于原子序數大于3的涂層和鍍層的測量。電容法僅在測量薄導體的絕緣涂層厚度時使用。
涂層厚度的測量方法主要有:楔形切割法、光切法、電解法、厚度差測量法、稱重法、X射線熒光法、β射線背散射法、電容法、磁性測量法和渦流測量法。這些方法的前五種都是破壞性檢測,比較繁瑣,速度慢,大多適合抽樣檢驗。