真空等離子清洗機表面活化增強附著力的原理包括反應室、電源和真空泵組。當樣品放入反應室后，真空泵開始抽空氣到一定的真空度，啟動電源產生等離子體，然后向反應室內通入氣體，使室內的等離子體變成反應等離子體，與樣品表面反應產生揮發性副產物，由真空泵抽出。等離子體高能粒子與材料表面的物理化學反應，可用于材料表面的活化、刻蝕和去污，提高材料的摩擦系數、附著力和親水性。

　　等離子清洗機的結構主要分為三部分，即控制單元、真空室和真空泵。

　　首先，控制單元

　　國內使用的等離子清洗機，包括進口的，有四種控制方式:半自動控制、全自動控制、PC電腦控制和LCD觸摸屏控制。

　　控制單元分為兩部分:

　　1)電源:主要電源頻率有三種，分別是40KHz、13.56MHz和2.45GHz，其中13.56MHz需要電源匹配器。

　　2)系統控制單元:分為按鈕控制(半自動、全自動)、電腦控制、PLC控制(液晶觸摸屏控制)三種。

　　二、真空室:

　　真空室主要分為兩種材料:

　　1)不銹鋼真空室。

　　2)應時腔。

　　三、真空泵:

　　真空泵分為兩種類型:

　　1)干式泵。

　　2)油泵。

　　處于等離子體狀態的物質有以下幾種:高速運動的電子；處于活化狀態的中性原子、分子和原子團(自由基)；離子化的原子和分子；未反應的分子、原子等。，但該物質整體上保持電中性。

　　等離子清洗使用戶遠離有害溶劑對人體的傷害，同時避免了濕式清洗中清洗對象易被沖走的問題；