隨著技術的日益進步，特別是近年來引入微機技術后，采用X射線鍍層測厚儀 向微型、智能、多功能、高精度、實用化的方向進了一步。測量的分辨率已達0.1微米，精度可達到1%，有了大幅度的提高。它適用范圍廣，量程寬、操作簡便且價廉，是工業和科研使用廣泛的測厚儀器。

　　Ux-720微動平臺

　　載物測試平臺，微調裝置在儀器右側，通過旋轉按鈕來調節樣品的移動，移動范圍為X軸和Y軸各15mm。結合260萬像素的高清CCD，對測試樣品進行定位，防止樣品放置好后關閉樣品蓋產生振動而使測試位置發生變化導致測試不準確。

　　Ux-720 儀器技術指標

　　1、分析元素范圍：Na-U

　　2、檢測成分范圍：1ppm-99.99%

　　3、檢測厚度：1nm

　　4、檢測厚度上限，30 - 50um（視材料而定）

　　5、檢測鍍層層數：1-10層

　　6、測量時間 ：30-150s ( 系統自動調整 )

　　7、分辨率：145±5eV

　　8、準直器：Φ0.5mm、Φ1mm、Φ2mm、Φ4mm自動切換

　　9、濾光片：5種濾光片自動切換

　　10、CCD觀察：260萬像素高清CCD

　　11、樣品微動范圍：XY15mm

　　12、儀器尺寸：680(W)x400(D)x390(H)mm

　　13、樣品腔尺寸：300*360*100mm；

　　14、輸入電源：AC220V～240V，50/60Hz

　　15、額定功率：350W

　　16、重量：約45Kg

　　17、工作環境溫度：溫度15—30℃

　　18、工作環境相對濕度：≤85%（不結露）

　　19、穩定性:多次測量重復性誤差小于0.1%

　　Ux-720探測系統

　　功能：對樣品特征X射線進行探測，將采集來的信號進行數據處理，并將處理結果傳輸給計算機。

　　類型：Si-PIN X-123(美國原裝進口)

　　Be窗???：1mil(0.0254mm)

　　分辨率：145±5eV

　　系統峰背比：≥ 6200/1

　　能量響應范圍：1keV — 40keV

　　推薦計數率：5000cps