艾里卡特真空氣體質量流量計氣體質量流量控制器是真空專用設備。MCE系列產品的特征如下：與我們標準質量流量控制器的控制響應速度一樣快，外形包括1/4″ VCR焊接接頭且能與SEMI標準氣體質量流量控制器實現端對端的匹配連接。

　　MCV和MCE聯系緊密，采用內置氣動截止閥，適用于高真空應用。將空氣管線連接到截止閥上，防止在設定點為零時出現污染情況。

　　多功能。監控流速的同時控制壓力；可選擇另一臺已知路程氣體校準儀或者利用COMPOSER?氣體編輯器確定自己的氣體組成。

　　連接。利用以太網/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU和TCP/IP）或串行通訊選項，可將這款產品輕松整合到您的數字工業網絡中。

　　耐用。MCE和MCV系列真空氣體質量流量控制器可在不受損的情況下讓液體暫時流動。

　　艾里卡特真空氣體質量流量計性能

　　可用量程：0-20 slpm； 0-0.5 sccm/0-500 sμlm（欲了解常備量程，請參見零件編號標簽）

　　可調比：200:1（MCE/MCV）或者100:1 （MCES/MCVS）

　　標準精度（NIST可溯源）：±（0.8%讀數+0.2%滿量程）

　　高精度（選配，NIST可溯源）：±（0.4%讀數+0.2%滿量程）

　　可重復性：0.2%滿量程

　　標準控制器響應時間常數：50-100ms（若有PID調節功能，可縮短至25ms）

　　氣動閥漏氣率（僅MCV系列）：1 x 10-9 atm scc/sec

　　無需預熱時間

　　艾里卡特真空氣體質量流量計工作條件

　　兼容氣體：98種（MCE/MCV系列）或130種（MCES/MCVS系列）預置可選氣體；利用COMPOSER氣體編輯器自定義的其它混合氣體

　　工作溫度：-10°C至+60°C

　　內部壓力（靜態）：145 psig（160 psia）

　　耐受壓力：175 psig（190 psia）

　　STP/NTP：用戶可選（默認為25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP）

　　MCE或MCV系列包裝清單：

　　MCE和MCV系列真空氣體質量流量控制器（電源需另行訂購）

　　NIST可溯源校準證書

　　艾里卡特操作說明書

　　配件（需另行訂購）

　　過程端口接頭和過濾器

　　電源

　　通訊線纜和轉換線纜

　　BB3和BB9多點式集線盒

　　Flow Vision軟件