T1100-02-00加速度傳感器

　　結構組成：

　　加速度傳感器，包括由硅膜片、上蓋、下蓋，膜片處于上蓋、下蓋之間，鍵合在一起；一維或二維納米材料、金電J和引線分布在膜片上，并采用壓焊工藝引出導線；工業現場測振傳感器，主要是壓電式加速度傳感器。其工作原理主要利于壓電敏感元件的壓電效應得到與振動或者壓力成正比的電荷量或者電壓量。目前工業現場典型采用IEPE型加速度傳感器，及內置IC電路壓電加速度傳感器，傳感器輸出與振動量正正比的電壓信號

　　根據原理不同分為以下幾種類型：

　　壓電式加速度傳感器

　　壓阻式加速度傳感器

　　電容式加速度傳感器

　　伺服式加速度傳感器

　　動作原理：

　　加速度傳感器是以測量加速度（速度的變化）為目的的傳感器。加速度傳感器分為很多種，可測量振動、傾斜、沖擊等的加速度。從我們身邊的物品來看，汽車的安全氣囊、智能手機、觸摸屏等均用到了加速度傳感器。

　　「靜電容量式加速度傳感器」即為加速度傳感器的一種方式。靜電容量式加速度傳感器是對內部的錘動作所產生的電流進行檢測（測量）。為此，由以下幾部分構成：使用玻璃錘和硅錘等的傳感器部分、可動電J（請將其當作可動元件來考慮、固定電J（請將其當做固定元件來考慮）。一旦施加加速度，傳感器部的錘將會動作，可動電J與固定電J之間的靜電容量將會發生變化。將這一變化轉換為電壓后進行輸出。

　　傳感器的輸出電壓會因溫度變化而產生誤差，因此為將誤差控制在*小程度，組裝有溫度補償回路（該回路使其接近本來的電氣信號）。

　　偏移電壓與滿量程：

　　「滿量程」是指相對于可檢測的加速度，可輸出的全范圍的電壓。圖1表示GS1、GS2的傳感器的檢測范圍與輸出電壓。如圖所示，滿量程為4.5V。

　　「偏移電壓」是指＋輸入端子與－輸入端子均為0V時，即檢測加速度處于0g狀態時所輸出的電壓。例如，如圖1所示，GS1、GS2偏移電壓約為2.5V。但是，如上文所述，實際上因溫度變化等，電壓還會產生誤差。

　　相對于滿量程，誤差占多少比例，用「％FS（百分比滿量程）」單位來表示這一數值。例如，圖1中作為示例標記為「±5%FS」，因此，相對于4.5V，可求出5%=4.5×0.05≒0.2，即±0.2V。換而言之，輸出電壓中可能會存在0.2V的誤差。

　　「％FS」所表示的輸出電壓的*大波動數值即為傳感器本身的精度，因此請牢記。誤差越小越理想。

　　加速度傳感器的非直線性：

　　下面介紹「非直線性」。如圖2所示，輸入的加速度與輸出値的關系（輸出特性）呈直線是*理想的。

　　非直線性是指這一理想關系與實際數值之間的偏差，以±%FS為基準作出規定。但是，由于加速度傳感器的非直線性J小，因此實際上無需太過在意。

　　輸出特性呈曲線，連接＋2g與－2g的直線輸出所產生的*大誤差即為非直線性。該數值越小越接近于直線。

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